flow-measurement-in-cleanroom-environments.jpg call_made

Overview

Микропроцессоры обычно производятся на крупных полупроводниковых заводах. Для нанесения микроэлектронных схем на сверхчистые кристаллические пластины они последовательно обрабатываются различными жидкостями: сверхчистой водой, разнообразными кислотами и специальными химическими веществами. Эти жидкости хранятся в резервуарах, соединенных с различными производственными цехами при помощи труб.

Во многих случаях до сих пор потребление рассчитывалось исключительно на основе уровней заполнения резервуаров для хранения. В целях оптимизации управления технологическим процессом и использования ресурсов все более важным становится непосредственное измерение потребления. В то же время необходимо, чтобы риск загрязнения жидкостей, в особенности ионами металла, был полностью исключен.

Неинтрузивная ультразвуковая система измерения расхода компании FLEXIM без металлических компонентов является оптимальным решением для выполнения этой задачи:

Ультразвуковые датчики просто крепятся на трубы, благодаря чему они не соприкасаются со средой, текущей по трубами или трубкам, в связи с чем любой риск загрязнения исключен. Таким образом, они также являются идеальной измерительной системой для использования в чистых помещениях. В сочетании со специальным креплением измерительную систему также можно использовать для выполнения точных измерений на гибких трубках — даже при очень низком расходе вплоть до нескольких литров в час.

Advantages

  • Отсутствие риска загрязнения сред высокой степени чистоты благодаря неинтрузивному измерению расхода с помощью накладных датчиков измерения расхода и крепления без металлических компонентов
  • Для установки измерительных систем не нужно выполнять работы на трубах, также возможна установка на гибкие трубки
  • Неинтрузивные измерительные приборы нечувствительны к химически агрессивным кислотам или твердым частицам
  • Оптимизация технологического процесса благодаря точному учету потребления
  • Высокая точность и надежность даже при очень низком расходе