Flow Measurement of Gases in Semiconductor ProductionFlow Measurement in Cleanroom EnvironmentsPost-etch Residue Removal
Flow Measurement of Gases in Semiconductor ProductionFlow Measurement in Cleanroom EnvironmentsPost-etch Residue Removal

Полупроводниковая промышленность

Измерение без контакта со средой

Жидкости, используемые в ходе производства полупроводников и печатных плат, являются коррозионными или сверхчистыми. Зажимные расходомеры FLEXIM — это идеальные решения для таких задач, поскольку они никогда не вступают в прямой контакт с текущей средой.

Кроме того, так как эта измерительная система не содержит никакого металла и устанавливается в специальные крепежные приспособления, она идеально подходит для точного измерения даже самых низких скоростей потока в гибкие шлангах и не создает абсолютно никакого риска потенциального загрязнения потоков среды. Для других целей в окружающей среде чистой комнаты, например, для контроля за удалением отходов после травления, можно использовать технологические рефрактометры из нашей линейки PIOX.

Полупроводниковая промышленность Измерение без контакта со средой