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Débitmètre à ultrasons non-intrusif pour l’industrie des semi-conducteurs
En salle blanche, l’une des priorités absolues consiste à prévenir toute contamination des fluides utilisés (eau ultra pure ou désionisée, divers nettoyants et solvants ou acides et décapants) par des métaux dissous.
FLEXIM a développé, pour ce type d’applications, un système de mesure à ultrasons non-intrusif : le FLUXUS Semiconductor.
Le FLUXUS Semiconductor est monté à l’extérieur d’un tuyau flexible ou rigide, ce qui exclut tout contact direct avec le fluide de même que les risques de fuites ou de contaminations.
Des travaux d’installation sur la tuyauterie sont inutiles, alors qu’avec les systèmes de mesure intrusifs, ils entraînent des arrêts du process et de complexes procédures de nettoyage. De ce fait, le FLUXUS Semiconductor ne demande pratiquement pas d’entretien.
La fiabilité et la précision sont la règle chez FLEXIM. Le FLUXUS Semiconductor n’y déroge pas, même lorsqu’il est monté sur des flexibles. Un système de montage spécial assure une excellente fixation et une précision inégalée, de nombreuses années durant.
Tout ceci fait du FLUXUS Semiconductor un débitmètre idéal en salle blanche, où il surveille la consommation et le débit des fluides de manière économique, précise, fiable et sûre, même avec de très faibles débits de seulement quelques litres par heure.
