Débitmètre à ultrasons non-intrusif pour l’industrie des semi-conducteurs

En salle blanche, l’une des priorités absolues consiste à prévenir toute contamination des fluides utilisés (eau ultra pure ou désionisée, divers nettoyants et solvants ou acides et décapants) par des métaux dissous.

FLEXIM a développé, pour ce type d’applications, un système de mesure à ultrasons non-intrusif : le FLUXUS Semiconductor.

Le FLUXUS Semiconductor est monté à l’extérieur d’un tuyau flexible ou rigide, ce qui exclut tout contact direct avec le fluide de même que les risques de fuites ou de contaminations.

Des travaux d’installation sur la tuyauterie sont inutiles, alors qu’avec les systèmes de mesure intrusifs, ils entraînent des arrêts du process et de complexes procédures de nettoyage. De ce fait, le FLUXUS Semiconductor ne demande pratiquement pas d’entretien.

La fiabilité et la précision sont la règle chez FLEXIM. Le FLUXUS Semiconductor n’y déroge pas, même lorsqu’il est monté sur des flexibles. Un système de montage spécial assure une excellente fixation et une précision inégalée, de nombreuses années durant.
Tout ceci fait du FLUXUS Semiconductor un débitmètre idéal en salle blanche, où il surveille la consommation et le débit des fluides de manière économique, précise, fiable et sûre, même avec de très faibles débits de seulement quelques litres par heure.

Avantages

• Aucun risque de contamination des fluides ultrapurs grâce au système de mesure non-intrusif ne contenant pas de métaux
• L’installation du débitmètre ne nécessite pas de travaux sur la conduite et celui-ci est parfaitement adapté aux tuyaux flexibles
• La mesure non-intrusive du débit par ultrasons est insensible aux acides agressifs ou aux particules présentes dans le fluide
• Le FLUXUS Semiconductor permet de mesurer avec précision les fluides employés, même avec de très faibles débits, et d’optimiser ainsi les process

Applications

• Industries
  • Industrie des semi-conducteurs
    • Mesure de débit en salle blanche

Fiche Technique

Incertitude relative à la mesure
(débit volumétrique)

±1.5 % v. MW ±0.01 m/s

Répétabilité

0.25 % v. MW ±0.01 m/s

Vitesse d'écoulement

0.01...25 m/s

Transmetteur de zone Ex

only safe area

Bloc d'alimentation

230VAC, 12/24VDC

Transducteur disponible

Shear Wave

pour zones Ex

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pour la gamme de diamètres de tuyauterie

8mm ... 51mm

pour plage de température

-20°C .... 100°C

Sorties

1x 4-20mA active
2x pulse/binary

Entrées

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Communication numérique

Modbus RTU
BACnet MS/TP
M-Bus

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Téléchargements

FLUXUS F501SC

Spécification technique

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