Mesures de débit des gaz divers dans la production des semi-conducteursMesure de débit en salle blancheContrôle qualité de la solution de nettoyage après le décapage à sec
Mesures de débit des gaz divers dans la production des semi-conducteursMesure de débit en salle blancheContrôle qualité de la solution de nettoyage après le décapage à sec

Industrie des semi-conducteurs

Mesure non-intrusive sans contact avec le fluide

Dans la fabrication de semi-conducteurs, une propreté absolue est de mise. En la matière, la technologie de mesure par ultrasons non-intrusive de FLEXIM est intéressante à double titre : d’une part, parce que les capteurs à ultrasons non-intrusifs sont fixés à l’extérieur de la conduite et n’entrent donc pas en contact avec le fluide ultra pur qui circule à l’intérieur, d’où une absence totale de risque de contamination, et d’autre part, parce qu’ils ne subissent pas la moindre usure par le fluide, comme les acides utilisés pour les opérations de décapage et de nettoyage.

FLEXIM propose des systèmes de mesure spéciaux, sans métaux, pour l’industrie des semi-conducteurs. Ils peuvent être fixés également sur des conduites souples et mesurent avec une extrême précision même les très faibles débits.

Les systèmes d’analyse des process PIOX de FLEXIM sont tout aussi intéressants pour les applications en salle blanche. Les systèmes à ultrasons non-intrusifs PIOX S et le réfractomètre industriel à transmission directe de lumière PIOX R servent à mesurer les concentrations au cours de la fabrication de circuits imprimés.

Industrie des semi-conducteurs Mesure non-intrusive sans contact avec le fluide