Mesures de débit des gaz divers dans la production des semi-conducteurs

Mesures de débit des gaz divers dans la production des semi-conducteurs

La production de composant électronique nécessite l’utilisation d’une multitude de divers gaz tels que l’azote, l’argon, l’hélium ou bien l’air comprimé. La plupart de ces gaz ne sont pas produits sur place et représentent une dépense importante pour l’entreprise. Aussi la production de l’air comprimé consomme une grande quantité d’électricité. Afin de pouvoir identifier les plus grands consommateurs et ainsi pouvoir mettre au point l’outil de production, il faut alors mesurer les volumes transitants. L’utilisation d’un système « clamp-on » à ultrasons FLUXUS G601 se révèle particulièrement adapté aux besoins de la société STMicroelectronics. Grace à la technologie non-intrusive, l’installation d’un point de mesure temporaire nécessite aucun travail sur la tuyauterie et donc aucune interruption de la production.Les capteurs sont fixés à l'extérieur de la conduite, il n'y a donc aucun contact avec le fluide et donc aucun risque de contaminer des médias ultra-pures. Ainsi, le système non-intrusif peut être appliqué aussi en salle blanche. De même, il n’y a aucun risque de fuite des fluides eventuellement dangereux.

Les utilisateurs du système FLUXUS G601 apprécient surtout sa simple mise en oeuvre, sa fiabilité et sa grande polyvalence : tous les capteurs peuvent être utilisés avec une seule unité électronique. Lors de la connexion, toutes les données des capteurs sont reconnues automatiquement (type de capteurs, paramètres de calibration, n° de série) et transmises à l’unité électronique, ce qui simplifie l’utilisation, tout en assurant la sécurité et la traçabilité des mesures. Le système FLUXUS G601 peut s’utiliser sur une large gamme de fluides et de matériaux.

Avantages

  • Mesure fiable, précise
  • Installation et mise en oeuvre rapide
  • Technologie non-intrusive, donc :
    • aucune interruption de la production
    • aucun risque de contimination des fluides ultra-pures
    • aucun risque de fuite des fluides dangereux ou aggressifs
  • Grande flexibilité et polyvalence : un seul systeme pour une multitude d’applications
  • Reconnaissance automatique des capteurs et chargement des données de calibration
  • Programmation simple et intuitive en français

 

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