Mesure de débit en salle blanche

Les microprocesseurs sont généralement produits dans de vastes usines de semi-conducteurs. Pour l’application des circuits imprimés microélectroniques sur les tranches de silicium ultrapures, celles-ci subissent des traitements successifs avec différents liquides (eau pure, divers acides, produits chimiques spéciaux). Ces liquides sont normalement contenus dans des réservoirs reliés aux différents secteurs de la production par des conduites.

Dans l’application décrite, la consommation était jusqu’à présent déterminée uniquement par le biais du niveau de remplissage. Mais une mesure directe de la consommation était souhaitée en vue d’optimiser la conduite du process et pour des raisons de protection de l’environnement. En outre, tout risque de contamination des liquides, notamment par des ions métalliques, doit être totalement exclu.
La technologie de mesure du débit non-intrusive par ultrasons de FLEXIM représente la meilleure solution. En effet, son principe même exclut toute contamination, car les capteurs à ultrasons exempts de métal se fixent simplement sur les conduites, ou sur des flexibles à l’aide d’une fixation spéciale, sans par conséquent entrer en contact avec les liquides qui circulent à l’intérieur. De même, les acides employés pour le décapage des wafers ne gênent pas le fonctionnement du dispositif de mesure et ne nuisent pas à sa durabilité.