post-etch-residue-removal.jpg call_made

Overview

El ataque seco combinado con técnicas fotolitográficas se emplea frecuentemente en los procesos de fabricación de semiconductores. El proceso de ataque incluye la eliminación de residuos con químicos especiales, como EKC265™. La limpieza de residuos es un factor importante que puede afectar a la calidad final del circuito integrado.

Hasta ahora, no había forma de monitorear en línea el proceso de limpieza. Se tomaban muestras de laboratorio a intervalos regulares de la solución de limpieza para analizarlas mediante instrumentos FTIR. Este proceso debe realizarse manualmente, es muy costoso y no cubre la necesidad de monitorear continuamente la solución de limpieza. Se ha detectado que un aumento en la concentración de agentes de limpieza como el EKC265™ (debido a la evaporación del agua) degrada el rendimiento de la limpieza. Por eso, algunos lotes de obleas ya limpiadas no se pueden usar para la fabricación posterior y tienen que someterse a una nueva limpieza. Eso supone una notable pérdida de rendimiento y costes adicionales.

Como alternativa superior, el refractómetro de proceso en línea PIOX R monitorea continuamente la calidad del agente de limpieza para evitar el fallo en los ciclos de lavado e informar sobre el contenido en agua de la solución de limpieza. PIOX R se instala en la derivación (directamente en el Spin Rinse Dryer, SPD) y monitorea la concentración del agente de limpieza, como EKC265™ (salida como contenido en agua en w%), de modo que garantiza la calidad del líquido de limpieza, optimiza los resultados de la limpieza de obleas y aumenta la vida útil posible del baño líquido.

Advantages

  • Mejora de la eficiencia en la limpieza de residuos: 200 euros por ciclo de limpieza fallido si la solución de limpieza sobrepasa los valores límite.
  • Control del proceso fiable mediante el monitoreo en línea.
  • Integración directa en el Spin Rinse Dryer gracias al diseño compacto del PIOX R.
  • Gran exactitud y fiabilidad, libre de deriva y con salidas personalizables.
  • Diagnóstico integrado que posibilita el mantenimiento predictivo (la amplitud de la señal indica la validez de la medición).