FLEXIM - FLUXUS F501SC - Durchflussmesser für den Halbleiterbereich - Eingriffsfreier Ultraschall-Durchflussmesser für die Halbleiterindustrie

Eingriffsfreier Ultraschall-Durchflussmesser für die Halbleiterindustrie

Eingriffsfreier Ultraschall-Durchflussmesser für die Halbleiterindustrie

Eine der höchsten Prioritäten in Reinraumumgebungen ist die Vermeidung jedweder Verunreinigungen der verwendten Medien- wie hochreines oder deionisiertes Wasser, diversen Reinigungs- und Lösungsmitteln oder Säuren und Ätzmittel - durch gelöste Metalle.

FLEXIM hat für solche Anwendungen ein eingriffsfreies Ultraschall-Durchflussmesssystem entwickelt: Den FLUXUS Semiconductor

Der FLUXUS Semiconductor wird von außen auf einem elastischen Schlauch oder Rohr montiert - ein direkter Medienkontakt ist somit prinzipbedingt ausgeschlossen und  die Möglichkeit für Leckagen oder potentielle Kontaminationen ist gleich Null. Weiterhin ist der FLUXUS Semiconductor komplett metallfrei.

Installationsarbeiten am Leitungssystem - die bei inline Messsystemen zu Prozessunterbrechungen und aufwendigen Reinigungsprozeduren führen - sind nicht erforderlich. Der FLUXUS Semiconductor ist somit auch praktisch wartungsfrei.

Zuverlässigkeit und Genauigkeit sind eine der Prämissen von FLEXIM. Der FLUXUS Semiconductor stellt dabei keine  Ausnahme dar - auch wenn er auf elastischen Schläuchen montiert ist. Eine spezielle Montagevorrichtung sorgt für eine stabile Anklemmung und ermöglicht eine unübertroffene Präzision über viele Jahre hinweg.
Damit ist der FLUXUS Semiconductor der ideale Durchflussmesser für den wirtschaftlichen Betrieb in Reinraumumgebungen, indem er den Verbrauch und die Durchflussmenge der strömenden Medien genau, zuverlässig und sicher überwacht - selbst bei sehr geringen Durchflussmengen von nur wenigen Litern pro Stunde.

Non-invasive Ultrasonic Flow Meter for the Semiconductor Industries - FLUXUS Semiconductor - F501SC

Vorteile

  • Keine Gefahr der Verunreinigung von hochreinen Medien - dies aufgrund der metallfreien Clamp-On-Durchflussmessung
  • Es sind keine Arbeiten am Leitungssystem zur Installation des Durchflussmessers erforderlich - insbesondere geeignet für flexible Schläuche
  • Die eingriffsfreie Ultraschall-Durchflussmessung ist unempfindlich gegenüber chemisch aggressiven Säuren oder Partikeln im Medienstrom
  • FLUXUS Semiconductor ermöglicht die exakte Bilanzierung der verbrauchten Medien - dies auch bei sehr niedrigen Durchflussraten - und bietet damit die Möglichkeit zur Prozessoptimierung

Applikationen

Technische Daten

Messunsicherheit
(Volumenstrom)
±1.5 % v. MW ±0.01 m/s
Reproduzierbarkeit
0.25 % v. MW ±0.01 m/s
Durchflussraten
0.01...25 m/s
Ex-Zonen-Transmitter
nur sicherer Bereich
Netzteil
230VAC, 12/24VDC
Verfügbare Ultraschallsensoren
Shear Wave
für Ex-Zonen
---
für den Rohrgrößenbereich
8mm ... 51mm
für den Temperaturbereich
-20°C .... 100°C
Ausgänge
1x 4-20mA aktiv
2x Impuls/Binär
Eingänge
---
Digitale Kommunikation
Modbus RTU
BACnet MS/TP
M-Bus

360° view

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Downloads

FLUXUS F501SC

Technische Spezifikation
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