Qualitätskontrolle der Reinigungslösung nach dem Trockenätzen

Qualitätskontrolle der Reinigungslösung nach dem Trockenätzen

Trockenätzen ist, in Verbindung mit photolithographischen Technologien, ein weit verbreitetes Verfahren zur Herstellung von Halbleitern. Der Ätzprozess beinhaltet die Entfernung von Rückständen mittels spezieller Chemikalien,  wie z.B. EKC265 ™. Dabei ist die Rückstandsreinigung ist ein wichtiger Faktor, der die endgültige IC-Qualität maßgeblich beeinflussen kann.

Bislang existierte keine Möglichkeit zur kontinuierlichen Online-Überwachung des Reinigungsprozesses. Konventionellerweise werden in unregelmäßigen Abständen Laborproben der Reinigungslösung entnommen und mittels FTIR Analyse ausgewertet. Dieses Verfahren muss manuell erfolgen, ist sehr teuer und gewährleistet nicht die erforderliche kontinuierliche Überwachung der Reinigungslösung.
Erwiesenermaßen beeinflusst eine Erhöhung der Reinigungsmittelkonzentration (aufgrund der Verdunstung des Wassers in der Lösung) die Reinigungsleistung negativ. Wird dies nicht rechtzeitig erkannt, können hohe Kosten aufgrund erneut nötiger Reinigungen kompletter Waferchargen entstehen.

Als überlegene Alternative erweist sich PIOX R: Das Online-Prozess-Refraktometer überwacht die Qualität der Reinigungsmittel kontiunierlich um fehlerhafte Waschzyklen zu vermeiden und den tatsächlichen Wassergehalt der Reinigungslösung wiederzugeben. PIOX R wird im Bypass Modus (direkt im Spinse Rinse Dryer) installiert und überwacht die Konzentration des Reinigungsmittels (z.B. EKC265 ™ - Ausgabe als  Wassergehalt in w%) und garantiert somit die Qualität der Reinigungsflüssigkeit, optimiert die Waferreinigung und erhöht die mögliche Lebensdauer des Reinigungsmittels auf Basis eines bedarfsoptimierten Austauschs.

Vorteile:

  • Steigerung der Reinigungs- und Kosteneffizienz (zusätzliche Kosten von ca. 200 Euro pro ausgefallenem Reinigungszyklus sofern die Qualität der Reinigungslösung außerhalb definierter Grenzwerte liegt)
  • Zuverlässige Prozesskontrolle durch kontinuierliche Online-Überwachung
  • Direkt integriert im Spinse Rinse Dryer auf Basis des kompakten PIOX R Designs
  • Hohe Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Driftfreiheit - Singalausgabe auf Basis kundenspezifischer Ausgänge
  • Integrierte Selbstdiagnose mit vorausschauender Wartung

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