Durchflussmessung verschiedener Gase in der Halbleiterproduktion

Durchflussmessung verschiedener Gase in der Halbleiterproduktion

Die Herstellung von Elektronikbauteilen erfordert den Einsatz einer Vielzahl verschiedener Gase wie z.B. Stickstoff, Argon, Helium oder auch Druckluft.

Die meisten dieser technischen Gase werden nicht vor Ort hergestellt, sondern extern bezogen und stellen daher einen erheblichen Kostenfaktor dar. Auch muss für die Erzeugung von Druckluft viel elektrische Energie aufgebracht werden – ebenfalls mit entsprechenden hohen Kosten. Um die größten Verbraucher identifizieren und dadurch den Betrieb der Produktionsanlagen optimieren zu können, müssen also zunächst die verschiedenen Volumenflüsse gemessen werden.

Im hier beschriebenen Anwendungsfall erweist sich die Verwendung eines portablen FLUXUS G601 Ultraschallsystems für die Facility Manager eines Mikroelektronikproduzenten als ideal:
Dank der eingriffsfreien Messtechnik erfordert die Einrichtung einer temporären Durchflussmessstelle keinerlei Öffnen bestehender Rohrleitungen und somit auch keinerlei Produktionsunterbrechung. Da die Clamp-On-Ultraschallsensoren einfach außen auf dem Rohr angebracht werden und nicht mit dem innen strömenden Gas in Kontakt geraten, geht von ihnen keinerlei Risiko der Verunreinigung hochreiner Medien aus. Daher kann das Clamp-On-Ultraschallsystem auch im Reinraum eingesetzt werden. Zudem geht von der eingriffsfreien Messtechnik natürlich auch keinerlei Leckagerisiko aus.

Die Anwender des FLUXUS G601 schätzen vor allem die einfache und praktische Handhabbarkeit, seine Zuverlässigkeit und die außerordentliche Flexibilität und Vielseitigkeit. Beim Anschluss der Sensoren werden diese automatisch vom Messumformer erkannt und die gespeicherten Daten (Sensortyp, Seriennummer, Kalibrierdaten) ausgelesen, was sowohl die Einrichtung der Messstelle vereinfacht als auch Genauigkeit und Rückführbarkeit der Messwerte gewährleistet. Das portable Ultraschallystem FLUXUS G601 als auch seine  permanenten Pendants, das FLUXUS G721 und G704CA eignen sich zur eingriffsfreien Durchflussmessung einer Vielzahl verschiedener Gase und können auf nahezu allen Rohrmaterialien eingesetzt werden.

Vorteile

  • Zuverlässige und genaue Messung
  • Schnelle Installation und Inbetriebnahme
  • Eingriffsfreie Messtechnik, daher:
    • keinerlei Unterbrechung der Produktion
    • keinerlei Risiko der Verunreinigung hochreiner Medien
    • keinerlei Risiko von Leckagen
  • Enorme Flexibilität und Vielseitigkeit: Ein einziges Messsystem für eine Vielzahl verschiedener Anwendungen
  • Automatische Erkennung der Sensoren beim Anschließen, die Kalibrierdaten werden übertragen, ein Nullpunktabgleich ist nicht erforderlich
  • Einfache und intuitive Parametrierung

 

Zugehörige Geräte