Durchflussmessung im Reinraum

Durchflussmessung im Reinraum

Mikroprozessoren werden in der Regel in großen Halbleiterwerken gefertigt. Für die Aufbringung der mikroelektronischen Schaltkreise auf den hochreinen Siliziumkristallscheiben werden diese sukzessive mit diversen Flüssigkeiten – Reinstwasser, verschiedenen Säuren und Spezialchemikalien – behandelt. Diese lagern normalerweise in Tanks, die über Rohrleitungen mit den einzelnen Produktionsabteilungen verbunden sind.

Der Verbrauch wurde im hier beschriebenen Anwendungsfall bisher lediglich über den Füllstand ermittelt. Zur Optimierung der Verfahrensführung und zur Sicherung des Umweltschutzes sollte nun eine unmittelbare Verbrauchsmessung integriert werden. Dabei muss jegliche Gefahr des Eintrags von Verunreinigungen – insbesondere von Metallionen – in die Flüssigkeiten hundertprozentig ausgeschlossen sein.
FLEXIMs eingriffsfreie Durchflussmessung mit Ultraschall bietet hier die optimale Lösung. Da die metallfreien Ultraschallsensoren im so genannten Clamp-On-Verfahren einfach auf die Rohrleitungen aufgespannt werden, bzw. auf Basis der speziellen Halbleiter-Sensoranklemmung an flexiblen Schläuchen angebracht werden, und nicht mit den darin fließenden Medien in Kontakt kommen, ist jegliche Kontamination von vornherein ausgeschlossen. Ebenso beeinträchtigen die zur Ätzung der Wafer eingesetzten Säuren nicht die Funktion oder Dauerhaftigkeit der Messeinrichtung.

Vorteile

  • Kein Risiko der Kontamination der hochreinen Flüssigkeiten aufgrund der eingriffsfreien und metallfreien Clamp-On-Messung
  • Keine Rohrarbeiten für die Installation der Messsysteme - auch zur Anbringung an flexiblen Schläuchen geeignet
  • Eingriffsfreie Messung unempfindlich gegenüber chemisch aggressiven Säuren oder Festkörperpartikeln
  • Prozessoptimierung durch genaue Bilanzierung der Verbräuche
  • Hochgradig genaue und zuverlässige Messung - auch bei niedrigen Durchflussraten von wenigen Litern pro Stunde