Durchflussmessung verschiedener Gase in der HalbleiterproduktionDurchflussmessung im Reinraum Qualitätskontrolle der Reinigungslösung nach dem Trockenätzen

Halbleiterfertigung

Berührungsfreie Messung ohne Medienkontakt

Bei der Herstellung von Halbleitern kommt es auf absolute Reinheit an. Die eingriffsfreie Ultraschallmesstechnik von FLEXIM erweist sich hier als doppelt vorteilhaft: Weil die außen auf dem Rohr aufgespannten Clamp-On-Ultraschallsensoren nicht mit dem innen fließenden, hochreinen Medium in direkten Kontakt geraten, geht von ihnen keinerlei Gefahr einer Verunreinigung aus. Darüber hinaus sind sie keinerlei Verschleiß durch das Medium - wie z.B. Säuren für Ätz- und Reinigungsprozesse - ausgesetzt.

FLEXIM bietet für Anwendungen in der Halbleiterindustrie spezielle metallfreie Messsysteme. Diese können auch an flexiblen Schlauchleitungen angebracht werden und messen hochgenau selbst geringste Durchflussmengen.

Ebenso bewähren sich Prozessanalytiksysteme PIOX von FLEXIM in Reinraumanwendungen. Sowohl die Clamp-On-Ultraschallsysteme PIOX S als auch das Durchlicht-Prozessrefraktometer PIOX R kommen zu Konzentrationsmessungen bei der Herstellung von Leiterplatten zum Einsatz.