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概述

洁净室环境中最优先的事项之一是避免流动介质(如超纯水或去离子水、清洁剂、溶剂以及酸和腐蚀性物质)因溶解金属而受到潜在的污染。

因此,FLEXIM 开发了一种非侵入性的超声波测量仪,非常适合此类应用:

FLUXUS Semiconductor 的设计和制造没有任何金属部件。此外,由于它安装在柔性管或管道外,没有侵入,没有直接接触介质,因此永远不会有任何泄漏或污染的可能性。而且不需要为安装而停止昂贵的过程,系统本身几乎是免维护的。

可靠性和准确性是 FLEXIM 的基石之一。FLUXUS Semiconductor 也不例外——即使安装在柔性管上也是如此。特殊的夹具确保安装稳定且耐用,使其在多年内都具有无与伦比的精度。

因此,FLUXUS 半导体是在洁净室环境中实现经济运行的理想流量计,它能准确、可靠且安全地监测任何流动介质的消耗和流速——即使是在低至每小时仅数升的极低流速下。

优点

  • 由于采用非侵入式、无金属外夹的流量测量,没有污染高纯度流体的风险
  • 安装测量系统不需要管道工程——也适用于柔性管道
  • 非侵入式测量对具有化学腐蚀性的酸或固体颗粒不敏感
  • 通过精确平衡消耗值来优化过程
  • 高度准确和可靠——包括在极低流速下

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行业应用

技术参数

测量不确定度(体积流量)
测量值的 ±1.5 % ±0.01 m/s
重复性
测量值的 0.25 % ±0.01 m/s
流速范围
0.01...25 m/s
防区发射机
仅安全区
供电电源
230VAC, 12/24VDC
可用传感器
剪切波
适用于管道尺寸范围
8mm ... 51mm
适用于温度范围
-20°C .... 100°C
输出
1x 4-20mA 有源
2x 脉冲/开关量
数字通信
Modbus RTU
BACnet MS/TP
M-Bus