Flow Measurement of Gases in Semiconductor ProductionFlow Measurement in Cleanroom EnvironmentsPost-etch Residue Removal

半导体工业

不接触介质进行测量

半导体和印刷电路板(PCB)的生产过程中采用的液体要么具有腐蚀性,要么超级纯。 FLEXIM的钳式流量计是完成这些任务的理想解决方法,因为它们永远不会与流动介质直接接触。 此外,由于完全不使用金属,采用特殊的安装夹具,这种计量系统非常适合甚至时对软管的最低流量的准确测量,完全不存在污染介质流的潜在风险。 PIOX的过程折射仪产品系列解决了其它洁净室环境的应用,如:在对刻蚀后残留物的去除过程进行监控时。

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